氧化铝陶瓷适合哪些精密部件?氧化铝陶瓷具有高硬度、高弹性模量、高耐磨性、高绝缘性、耐腐蚀性、低膨胀性等性能,成为许多高精度、高性能领域不缺的材料,适合充当多种精密部件。它特别适合充当以下类型的精密部件:
半导体制造与电子封装:
绝缘环、基座、腔体部件、基板、封装、静电卡盘基座、晶圆搬运臂末端执行器;
精密机械与仪器仪表:
耐磨密封环、机械密封件、精密轴承(球、滚子)、导轨、滑块、测量探针、测头、激光器腔体、反射镜基座;
能源与环保:
燃料电池部件、传感器基体与保护套、耐磨衬板、喷嘴;
其他高要求场景:
真空系统部件(绝缘子、馈通件、腔体衬里)、纺织工业导丝器等广泛的应用。
总而言之,氧化铝陶瓷是要求高硬度、高耐磨、高绝缘、耐高温、耐腐蚀、尺寸稳定、生物相容等综合性能的精密部件的首选材料之一,尤其是在半导体、高端机械密封、医疗植入体和特种仪器仪表等领域扮演着关键角色。