在新能源汽车、智能电网、轨道交通等高压大功率应用场景中,电子器件的散热效率和可靠性已成为技术突破的关键。近年来,DBA(Direct Bonded Aluminum)直接覆铝陶瓷基板凭借其独特的优势,逐渐成为替代传统DBC(直接覆铜)基板的“潜力股”。本文将深入解析DBA的技术原理、技术关键及行业应用等,揭示其为何成为下一代功率器件封装的“热选”。
DBA陶瓷基板结构及其在元件散热领域的应用
一、技术原理
DBA陶瓷基板制备的工艺原理是,当温度升至铝的熔点(660℃)以上时,液态铝在真空或惰性气体环境中润湿陶瓷表面(如Al₂O₃或AlN),冷却过程中铝原子直接在陶瓷晶核上结晶生长,形成“铝-陶瓷-铝”的三明治结构。
与DBC(直接覆铜)的差异在于界面无化学反应。DBC工艺需在1000℃以上高温下进行,铜与氧化铝界面会生成脆性化合物CuAlO₂/CuAl₂O₄,导致热应力集中;而DBA的物理结合避免了脆性相,结合强度更高。
提高铝在陶瓷基片表面的润湿性是DBA技术的工艺难点,铝在空气中极易氧化形成致密Al₂O₃膜,阻碍润湿。
针对该难点,目前行业通过两种方案突破:
表面过渡层技术:在陶瓷表面预镀钛(Ti)、铬(Cr)等金属层,通过Al-金属共晶反应形成液相,促进扩散。
瞬时液相键合(TLP):引入硅(Si)等低熔点中间层,低温下形成短暂液相,扩散后生成高熔点金属间化合物,兼顾低温加工与高温服役稳定性。
二、技术关键点
DBA(直接敷铝陶瓷基板)的核心,在于通过低温共晶键合实现铝层与陶瓷的物理结合。
1. 金属化时的润湿性与界面强化
去氧化控制:在真空或氮气环境中处理铝表面,消除氧化膜,提供液态铝的浸润性。热应力调控:利用铝的塑性变形能力(屈服强度仅为铜的1/3),缓解陶瓷与金属的热膨胀系数失配(Al₂O₃: 7.1 ppm/K vs Al: 23.6 ppm/K)。
2. 蚀刻工艺优化
传统DBA陶瓷基板的铝层厚度≥100μm,难以蚀刻出精细线路。新的图形化技术包括:采用激光精密刻蚀,可实现微米级线宽,但需控制热影响区避免基板变形;应用增材制造技术,通过金属浆料印刷局部增厚导电线路,提升载流能力。
3. 国产化工艺突破
以富乐华为代表的国内企业,通过粉体自研+烧结工艺优化,将界面空洞率降至<0.5%,局部放电耐压提升至1.2kV(优于进口基板20%),成本降低30-40%。
三、应用优势:轻量化与高可靠性
1. DBA陶瓷基板与DBC、AMB陶瓷基板性能对比
DBA基板的抗热震性由于DBC陶瓷基板
四、现存瓶颈
精细线路限制:DBA表面铝层较厚,需开发微细加工技术(如激光微钻、等离子刻蚀)。
成本控制:高纯度工艺设备投入大,需通过规模化生产降低单位成本。
界面长期可靠性:长期高温(>200℃)下铝层蠕变可能导致界面失效,需材料优化(如Al-Si合金)。
五、结语
DBA凭借物理界面高可靠、轻量化及铝线兼容性,正在新能源汽车、航天航空等极端工况场景替代DBC/AMB。富乐华等企业已经实现粉体-工艺-设备的全链条国产化,DBA基板成本持续下探,有望在800V高压平台、SiC功率模块封装中成为主流选择。