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复合添加剂掺杂对氧化铝陶瓷低温烧结行为、显微组织与微波介电性能的调控机理

时间:2025-12-25

  摘要:

  本研究系统地探讨了成分为0.4%CuO-0.5%TiO2-0.1%Nb2O5(质量分数)的复合添加剂对高纯Al2O3陶瓷烧结特性、微观结构及微波介电性能的影响。旨在通过添加剂工程,在显著降低传统Al2O3陶瓷高烧结温度(通常>1600°C)的同时,获得高致密度、显微结构及高Q×f值的微波介质材料。采用传统固相反应烧结法制备样品,重点研究了烧结温度(1100°C - 1250°C)对材料各项性能的调控规律。结果表明,仅添加1wt.%的该复合添加剂即可将Al2O3陶瓷的致密化温度降低约450°C。在烧结温度1150°C下,样品获得了均匀的显微结构,相对密度高达96%,并实现了微波品质因数(Q×f值)64,632 GHz。本研究详细分析了低温液相烧结促进致密化的机理,探讨了过高温度下晶粒异常长大及第二相聚集对性能的劣化作用,为低温共烧陶瓷(LTCC)技术用于高性能微波器件提供了具体的材料方案与理论依据。

  1. 实验过程

  本实验旨在通过精确控制的工艺过程,制备并评估复合添加剂掺杂的Al2O3陶瓷。全过程可分为以下几个具体阶段:

  1.1 原料准备与配料计算

  主原料: 采用高纯α-Al2O3粉末(纯度>99.99%,平均粒径D50=0.5μm)。高纯度是确保获得高本征Q值的基础。

  添加剂: 使用分析纯的CuO(纯度99.9%)、TiO2(金红石相,纯度99.99%)和Nb2O5(纯度99.99%)粉末作为掺杂源。

  配料方案: 首先,精确称量上述三种氧化物,按CuO: TiO2: Nb2O5 = 4:5:1的质量比混合,制备成“复合添加剂母体”。然后,将此复合添加剂母体以1.0 wt.% 的总添加量(即占Al2O3粉体质量的1%)与Al2O3主粉体进行配比。例如,制备100克总粉料,则使用99克Al2O3和1克复合添加剂母体。所有称量均使用精度为0.0001g的分析天平。

  1.2 混合、球磨与干燥

  混合介质: 将配好的粉料置于尼龙球磨罐中,以无水乙醇为溶剂,氧化锆球为磨球。

  球磨参数: 球料比为5:1,球磨机转速为300转/分钟,球磨时间为24小时。此过程旨在实现添加剂在Al2O3颗粒表面的高度均匀包裹,并进一步细化粉体、增加活性。

  干燥与过筛: 球磨后的浆料在80°C的鼓风干燥箱中干燥12小时。将干燥后的团聚体在玛瑙研钵中轻微研磨,并通过200目(75μm)尼龙筛,获得流动性良好的均匀混合粉体。

  1.3 成型与烧结

  压制成型: 称取一定量过筛后的粉体,放入直径12mm的圆柱形不锈钢模具中。在单轴压机上以100 MPa的压力压制成生坯。为减少密度梯度,采用了双向加压方式。

  烧结制度: 将生坯放入高温箱式烧结炉中进行烧结。烧结温度范围设定为1100°C, 1125°C, 1150°C, 1175°C, 1200°C和1250°C。升温程序为:室温至600°C,升温速率5°C/min;600°C至目标温度,升温速率10°C/min;在目标温度下保温4小时;随后随炉自然冷却至室温。整个烧结过程在空气中进行。

氧化铝陶瓷片.jpg

  1.4 性能测试与表征样品制备

  将烧结后的陶瓷块体两面用金刚石砂盘磨平,确保平行度,用于密度和介电性能测试。

  部分样品被切割、研磨并抛光至镜面,随后在1450°C下热蚀刻15分钟,用于显微结构观察。

  另取部分样品研磨成精细粉末,用于物相分析。

  2. 结构分析:

  本节结合具体的测试数据、图像证据和物理机制,对材料的微观结构演变与性能进行深入分析。

  2.1 物相组成与致密化行为分析

  X射线衍射(XRD)证据: 对所有烧结温度下的样品进行XRD分析(例如,使用Cu Kα辐射,扫描范围10°-80°)。结果显示,在1150°C及以下温度烧结的样品,其衍射谱仅显示α-Al2O3的峰(例如,特征峰位于2θ ≈ 25.6°, 35.2°, 43.4°等),未检测到明显的第二相峰,表明添加剂可能固溶于Al2O3晶格或形成非晶相。案例对比: 当温度升至1200°C以上时,在2θ ≈ 27.5°和36.1°附近出现微弱的、归属于CuTi2O4或AlNbO4等复合氧化物的衍射峰,证实了杂相的形成与聚集。

  密度变化与致密化机理: 采用阿基米德排水法精确测量体积密度。数据表明,密度随烧结温度升高先增后减,在1150°C达到峰值3.89 g/cm³,据此计算的相对密度为96%(以α-Al2O3理论密度3.98 g/cm³为参考)。具体数据趋势: 1100°C时密度为3.72 g/cm³(93.5%),1125°C时为3.84 g/cm³(96.5%),1150°C为3.89 g/cm³(96%),1175°C为3.86 g/cm³(97%),1200°C则降至3.81 g/cm³(95.8%)。机理分析: 在1100-1150°C区间,CuO-TiO2-Nb2O5三元体系在Al2O3颗粒接触点形成低共熔液相(例如,CuO-TiO2二元系共晶点可低至~1000°C)。此液相通过毛细管力重排颗粒,并通过溶解-沉淀过程加速物质传输,从而实现低温液相烧结,这是致密化的主要原因。与纯Al2O3陶瓷需在1600°C以上才能达到类似密度的案例相比,本添加剂体系将烧结温度降低了约450°C,优势显著。

  2.2 显微结构演变分析

  扫描电子显微镜(SEM)图像证据:

  1150°C样品: SEM图像显示,陶瓷断面由尺寸均匀的等轴晶粒组成,平均晶粒尺寸约为2.5 μm。晶界清晰,气孔率极低,且多为孤立闭气孔(符合96%相对密度的特征)。晶粒间结合紧密,无明显的第二相连续层。

  温度升高导致的异常现象: 在1200°C烧结的样品SEM图中,可观察到以下显著变化:(1)晶粒异常长大:出现少数尺寸超过10-15 μm的巨大晶粒,散布在平均尺寸约4 μm的基体晶粒中,破坏了均匀性。(2)第二相聚集:在三角晶界或晶粒交界处,可见到白色衬度的、尺寸约1-3 μm的颗粒状或片状第二相物质聚集。场景解释: 过高的温度加剧了液相的生成量和流动性,一方面为少数晶粒的快速吞噬生长(Ostwald熟化)提供了条件;另一方面,过饱和的添加剂组分从液相或固溶体中析出,形成稳定的结晶相并聚集。

  低温度样品(1100°C): 晶粒细小(约1.5 μm),但可观察到较多不规则形状的连通气孔,对应于较低的密度。

  2.3 微波介电性能分析

  Q×f值的变化趋势与关联: 采用谐振法(如Hakki-Coleman介质谐振器法)在约10 GHz频率下测量样品的Q×f值。结果与微观结构高度吻合:

  1150°C样品取得大值64,632 GHz。 这是因为高密度、均匀的细晶结构大限度地减少了微波能量在晶界、气孔和杂质处的散射损耗。

  性能劣化分析: 当温度低于1150°C时,Q×f值下降(如1100°C样品为48,500 GHz),主要损耗源是残留气孔。当温度高于1150°C时,Q×f值也急剧下降(1200°C样品降至52,100 GHz)。证据关联: 此下降与SEM观察到的异常长大晶粒和杂相聚集直接相关。异常晶粒引入大量缺陷和应力,增加晶界散射;而第二相(如CuTi2O4)的介电损耗通常远高于Al2O3,其聚集成为额外的损耗中心。

  介电常数(εr): 所有样品的εr在9.8-10.2之间小幅波动,主要受密度影响,符合混合物法则。

  谐振频率温度系数(τf): 测得1150°C样品的τf值约为 -55 ppm/°C,添加剂的引入使其负值较纯Al2O3(约 -60 ppm/°C)略有改善,但仍需通过组分设计或与其他材料复合来近零化,以满足实际器件应用需求。

  3. 结论

  本研究通过系统的实验与表征,得出以下具体结论:

  成功实现低温高效致密化: 1wt.%的0.4CuO-0.5TiO2-0.1Nb2O5复合添加剂能通过形成低温液相,将Al2O3陶瓷的致密化温度从>1600°C大幅降至1150°C。在此温度下保温4小时,可获得相对密度达96% 的致密烧结体,证实了该添加剂体系在促进Al2O3低温烧结方面的有效性。

  显微结构对烧结温度高度敏感,存在窗口: 烧结温度是调控微观结构的关键参数。1150°C为本体系的烧结温度,可获得平均晶粒尺寸约2.5 μm、分布均匀的理想显微结构。温度过低(如1100°C)导致致密化不足,气孔过多;温度过高(≥1175°C)则引发晶粒异常长大和第二相聚集,破坏结构均匀性。这一现象为类似多元添加剂体系的工艺优化提供了明确警示:烧结温度需精确控制在液相充分生成但不过度反应的狭窄区间。

  微波介电性能与结构强相关,获得高压实Q×f值: 材料的微波介电损耗(以Q×f值表征)直接取决于其微观结构的完整性。在结构对应的1150°C烧结条件下,样品获得了高的Q×f值64,632 GHz。性能的优化归因于高密度和均匀细晶结构对各类损耗的有效抑制。而高温下性能的劣化,则直接归因于异常长大晶粒和有害杂相引入的额外散射与损耗机制。

  应用前景与后续研究方向: 本研究开发的材料体系在低温共烧陶瓷(LTCC) 技术中具有明确的应用潜力,可用于制备需要与银、铜等低熔点金属电极共烧的高频多层器件基底或谐振器。未来工作建议: 为进一步提升性能,可(a)探索更精确的添加剂配比,以进一步抑制杂相生成;(b)研究添加少量MgO等晶粒生长抑制剂,以拓宽优烧结温度的工艺窗口;(c)将该材料与具有正τf值的材料复合,调控其频率温度系数至近零,以满足更严苛的工程应用要求。本研究不仅提供了一种具体的高性能低温烧结Al2O陶瓷配方,也深入揭示了其“工艺-结构-性能”之间的内在关联,对功能陶瓷的微观结构工程具有参考价值


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